在高精密涂布和更廣泛領域成為世界級頭部企業。
| 項目 | 規格 | ||
| 腔體材質 | 不銹鋼 | ||
| 抽氣速度 | 大氣壓至20 Pa,時間根據客戶要求定制 | ||
| 泵 | 國產或進口(根據客戶要求) | ||
| 破真空 | N2或CDA | ||
| 玻璃傳送 | 手動或自動 | ||
| 觀察視窗 | 配置 | ||
| 精密控制方式 | 皮拉尼計(pirani gauge),自動蝶閥3-step開度控制+定制真空度達到停止或到達時間停止;可記錄壓力、時間曲線 | ||

| 項目 | 規格 | 項目 | 規格 | ||
| 真空抽氣速率 | 根據客戶要求定制 | 真空工藝控制 | ≥5-Step 抽真空+Main抽真空Process+定制 | ||
| 溫度范圍 | Max.120°C | 真空破壞 | N2 吹掃(MFC)+緩沖過濾Break Filter | ||
| 溫度均勻性 | ±3℃ | 真空泵 | Kashiyama或同等級 | ||
| 加熱器排布 | 腔體外部 | Trap tank | Trap法,含冷水凝縮和自動排放功能 | ||
| 腔體數量 | 單腔或雙腔 | 內腔潔凈度 | 優于class100 | ||
| 基板支持Pin | 可移動式(磁力固定式) | ||||
