在高精密涂布和更廣泛領域成為世界級頭部企業。
| 技術規格參數 | 標準值 |
| 基片類型 | 顯示及浮法平板玻璃,合成樹脂(剛性和柔性面板),金屬(剛性及柔性)等 |
| 基片尺寸 | 典型370x470,最大尺寸為450x650mm |
| 基片厚度 | 玻璃:0.5~4.0mm,塑料:下至150μm,金屬箔:下至50μm |
| 基片加載與卸載 | 手動或全自動化操作 |
| 涂層厚度范圍 | 20nm~大于50um(干膜,取決于材料屬性與系統參數設置) |
| 膜厚一致性 | 對于大于150nm的膜厚(干膜),±3%或更優;對于50-150nm的膜厚(干膜),±5%或更優 |
| 涂布開始/結束邊緣影響寬度 | 5~10mm或更小 |
| 涂布材料粘度范圍 | 標準1~50cP,典型地使用高粘度泵則可達10000cP |
| 材料利用率 | 大于95% |
| 制程周期(TACT) | 典型為60秒,取決于基片尺寸及自動化程度 |