在高精密涂布和更廣泛領域成為世界級頭部企業。
| 技術規格參數 | 標準值 | ||
| nRad/SRD200 | nRad2/SRD300 | ||
| 基片尺寸 |
標準150*150mm 最大尺寸210x300mm,150或200mm晶圓 |
標準300x300mm,最大尺寸370x470mm 晶圓尺寸可達300mm |
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| 基片類型 | 玻璃、塑料、金屬箔、硅晶圓、剛性或柔性基板 | 玻璃、塑料、金屬箔、硅晶圓、剛性或柔性基板 | |
| 基片厚度 | 剛性:0.5~6mm,柔性:>100μm | 剛性:0.5~6mm,柔性:>100μm | |
| 涂布厚度范圍 | 20nm~大于50μm (干膜,取決于材料屬性與系統參數設置) |
20nm~大于50μm (干膜,取決于材料屬性與系統參數設置) |
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| 涂布一致性/均勻性 |
對于大于150nm的膜厚(干膜),±3%或更優 對于50~150nm的膜厚(干膜),±5%或更優 |
對于大于150nm的膜厚(干膜),±3%或更優 對于50~150nm的膜厚(干膜),±5%或更優 |
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| 涂布開始/結束邊緣 影響寬度 |
5~10mm或更小 | 5~10mm或更小 | |
| 涂布材料粘度范圍 | 標準1~50cP,使用高粘度系則可達10000cP | 標準1~50cP,典型地使用高粘度泵則可達10000cP | |
| 系統填充量 | 低于20ml以下 | 低于30ml以下 | |
| 系統尺寸及重量 | 長x寬x高:911mmx780mmx878mm 重量:170kg/380lbs |
長x寬x高:1307mmx941mmx921mm 重量大約:370kg/800lbs |
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| 認證 | UL&CE | UL&CE | |