有光就有鈣鈦礦,有鈣鈦礦就有德滬涂膜。
德滬5年前推出的晶硅鈣鈦礦疊層涂膜設(shè)備已經(jīng)助能多個(gè)頭部鈣鈦礦/晶硅疊層企業(yè)多次創(chuàng)造了晶硅/鈣鈦礦電池轉(zhuǎn)化率世界紀(jì)錄。
日前,從德滬研發(fā)及產(chǎn)品中心獲悉,德滬新一代晶硅鈣鈦礦疊層涂膜三件套設(shè)備已通過(guò)嚴(yán)格的涂膜測(cè)試驗(yàn)證,成功問(wèn)世。
德滬新一代疊層三件套設(shè)備具有下列功能和優(yōu)點(diǎn):
涂膜設(shè)備(SRD300T系列)。

適用于不同尺寸的晶硅wafer;專利保護(hù)的滿涂設(shè)計(jì),減少邊緣不均勻區(qū)域;專利保護(hù)的Wafer全自動(dòng)檢測(cè)、調(diào)平機(jī)構(gòu),保證成膜一致性并避免背面污染;精密涂頭、供液泵、氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等完美配合,保證成膜質(zhì)量和精度。
真空干燥設(shè)備(VCD,VCD300系列)。

專利保護(hù)的設(shè)計(jì),防止閃蒸對(duì)膜面造成氣流擾動(dòng);通過(guò)自動(dòng)蝶閥控制程序,多段式控制腔體內(nèi)部壓力;實(shí)時(shí)顯示腔內(nèi)真空狀態(tài),并可顯示及存儲(chǔ)壓力曲線。
退火設(shè)備(HP,HP300系列)。

多層加熱腔體,可以同時(shí)加熱多片wafer;每層加熱腔上加熱,下輔熱,保證基板溫度均勻性優(yōu)于±3℃。
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